1982 yılından itibaren ABD 'nin Kaliforniya eyaletinde yarı-iletken üretimine yönelik işleme (
fotolitografi ) cihazları üretimine
Kaynak: NikonÜretim maliyetinin düşüklüğü, transistör lerin birer birer değil de tek defada, ışıklı taş baskı (
fotolitografi) aracılığı ile basılmaları
Kaynak: Mikroçipsadece nanometrenin onar katı büyüklüğünde olduğu yerlerde kullanılabilir ve
fotolitografi vasıtasıyla nano antenlerin üretilmesini mümkün kılar.
Kaynak: Nanoanten