alt-üşek tozlanımı anlamı İng. cathode sputtering Osm. katot tozlanması Alm. Kathodenzerstäubung Fr. pulverisation cathodique
Alt-üşekte oluşan üşek özdeği tozunun, üst-üşeği ve boşalım borusunun iç yüzeyini kaplaması.