iyon saçılım spektroskopoisi anlamı İng. ion scattering spectroscopy
Düşük enerjili (yaklaşık 1000 elektron volt) inert gaz iyonları demeti, bir yüzeye doğrudan olarak gönderildiğinde, saçılan iyonların saçılma açısı ve enerjileri üzerinden, yüzey atomlarını tanımlamada kullanılan spektroskopik teknik.